臺式掃描電鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)相較于傳統大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空、不用噴金測量不導電樣品等優勢，而且它的放大倍數可高達130,000倍。此類新型儀器的出現填補了光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的空白區域，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
 

　　臺式掃描電鏡的工作原理和優點：
 

　　成像系統和電子束系統均內置在真空柱中，真空柱底端即為右圖所示的密封室，用于放置樣品。之所以要用真空，主要基于以下兩點原因：電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。
 

　　不僅可在真空下，還可在大氣壓下進行觀察，含水樣品也無需前處理即可直接觀察，是目前市面上一款大氣壓模式下觀測的掃描電鏡，免去了了生物，食品，化妝品等樣品復雜的前處理過程，同時還能觀察樣品的原始形貌。臺式掃描電鏡在成分分析方面主要有EDS能譜丶WDS波譜兩種偵測器可以搭配，能譜分析速度較快，元素檢測極限約1000~2000ppm。
 

　　波譜分析速度較慢，但元素偵測極限較好，約在10~100ppm，成分分析分析方法上面有三種模式可以選擇，奈米范圍內微小區域成分分析，可以幫助使用者做特定區域的分析，可以觀察掃描線段區域的成分變化。